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傳感器晶圓

公司自主研發多種壓阻式壓力敏感芯片,壓力量程從1KPG到5MPA,采用6寸或8寸MEMS產線加工完成,其壓力敏感芯片由一個彈性膜及集成在膜上的四個電阻組成,四個壓敏電阻形成了惠斯通電橋結構,當有壓力作用在彈性膜上時電橋會產生一個與所加壓力成線性比例關系的電壓輸出信號。良好的線性、重復性和穩定性以及高靈敏度,方便用戶采用運放或集成電路針對輸出進行調試。適用于充油隔離及各種簡易封裝的壓力傳感器。

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